懸浮微料：一般指懸浮于空氣中的固態和液態微粒，其粒徑范圍一般在0.1-5um之間。
潔室度：用以表征單位體積空間內空氣中所含微粒大小及數量的多少。是區別空氣潔凈程度的標準。
氣閘室：設置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染汽流和壓差控制而設置的緩沖室。
風淋室：氣閘室的一種，通過安裝風機，過濾網及控制系統等對入室人員進行周身吹掃通道，它是減少外來污染的有效途道之一。
潔凈工作服：為把工作人員產生的粒子限制到最小程度， 所使用的發塵量少的潔凈服裝。
高效空氣過濾器： 在額定風量下，對粒徑大于等于0.3μm 粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流阻力在250Pa 以下的空氣過濾器。
超高效空氣過濾器： 在額定風量下，對粒徑0.1～0.2μm 粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa 以下的空氣過濾器。
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